第331章 流片成功!(4 / 5)

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  苏佩兰看了看旁边的王铁山。
  王铁山沉默了几秒,走到机器后面。
  蹲下去看了看分子泵的参数铭牌。
  “能拉到。”
  他直起腰,
  “负5次方没问题,就是没人敢这么用。”
  “那就用。”林希说。
  王铁山没再犹豫。
  他抱著扳手绕到机器背面,拧开旁通阀。
  苏佩兰深吸一口气,坐回操作台。
  束流电流:10ma。
  加速电压:50kev。
  真空度读数开始往下掉。
  10的负3次方。
  负4次方。
  分子泵的声音变得尖锐。
  负5次方。
  稳住了。
  “注入。”林希说。
  苏佩兰按下启动键。
  机器轰鸣声骤然变调,像一头沉睡的野兽被唤醒。
  离子束击中硅片表面。
  六十秒。
  一百二十秒。
  注入结束。
  苏佩兰取出硅片,双手端著,走到显微镜前。
  车间里所有人的呼吸都停了。
  她把硅片放上载物台,调焦。
  看了三秒。
  又调了一下倍率。 ↑返回顶部↑

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