第308章 给光刻机装「眼睛」（5 / 5）

  陈默的身体晃了一下。
  他当然知道。
  这个问题困扰了整个109会战团队两年。
  他师傅为了解决这个死区。
  在显微镜前连续坐了七十二个小时。
  左眼的视网膜就是那时候脱落的。
  最后也没解决。
  林希从公文包里抽出一张图纸，展开铺在行军床上。
  图纸上画著一套改造方案。
  xy工作檯两侧，各加装一条光柵尺。
  光柵尺的信號接入一块数字控制板。
  控制板驱动两台微型伺服电机。
  替换原有的手摇蜗轮。
  “红星和长光所联合自研自產的光柵尺，解析度1微米。”
  林希用笔尖点著图纸，
  “配合闭环伺服控制。”
  “丝槓的累积误差，在每个採样周期內实时补偿。”
  他看向陈默。
  “你的机器什么都好。”
  “光学系统是王老定的方案。”
  “底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”
  “它就差一双眼睛。”
  “现在，我把眼睛给它装上。” ↑返回顶部↑