第308章 给光刻机装「眼睛」（4 / 5）
【懂行的来了！自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”，放得越久越值钱！】
【林总之前造砥柱工具机，底座用的泉城青花岗岩，也是同样的道理，追求极致的形变稳定性。】
【所以这台光刻机的机械底座，反而因为放了四年，变成了最完美的状態？】
【废铁？这是宝贝！被你们当废铁扔了四年的宝贝！】
陈默的嘴唇哆嗦了好几下。
“你是说……这台机器，还能用？”
“不是还能用。”
林希收回手指，把沾著油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，
“是它从来就没坏过。”
他绕著gk-3走了一圈。
军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。
汞灯光源的接口擦得鋥亮，连螺纹里都没有积灰。
“陈师傅。”
“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”
林希停在xy工作檯前。
用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。
“是因为这个。”
陈默一愣。
“套刻对准。”
林希蹲下去。
指著工作檯底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，
“纯机械传动，没有位置反馈。”
“丝槓转一圈，理论行程是0.5毫米。”
“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”
“每转一圈的真实位移都不一样。”
他站起来，拍了拍手上的灰。
“套刻精度要求正负5微米。”
“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”
“所以第二层图形永远对不准第一层。”
“废片率超过六成。” ↑返回顶部↑
【林总之前造砥柱工具机，底座用的泉城青花岗岩，也是同样的道理，追求极致的形变稳定性。】
【所以这台光刻机的机械底座，反而因为放了四年，变成了最完美的状態？】
【废铁？这是宝贝！被你们当废铁扔了四年的宝贝！】
陈默的嘴唇哆嗦了好几下。
“你是说……这台机器，还能用？”
“不是还能用。”
林希收回手指，把沾著油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，
“是它从来就没坏过。”
他绕著gk-3走了一圈。
军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。
汞灯光源的接口擦得鋥亮，连螺纹里都没有积灰。
“陈师傅。”
“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”
林希停在xy工作檯前。
用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。
“是因为这个。”
陈默一愣。
“套刻对准。”
林希蹲下去。
指著工作檯底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，
“纯机械传动，没有位置反馈。”
“丝槓转一圈，理论行程是0.5毫米。”
“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”
“每转一圈的真实位移都不一样。”
他站起来，拍了拍手上的灰。
“套刻精度要求正负5微米。”
“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”
“所以第二层图形永远对不准第一层。”
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