第 333 章诺基亚备胎计划（4 / 4）

三星的要价很明確。
浸液供给系统和物镜保护模块，这两项是启文在浸润式光刻领域最核心的专利壁垒。
没有浸液供给系统，光刻机在九十纳米以下的工艺窗口会大幅收窄，良率和成本都会受影响。
没有物镜保护模块，浸液环境下的光学精度无法保障。 ↑返回顶部↑

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