第309章 其实並不复杂（2 / 2）
因为光刻物镜的镜片数量是有限的，自由度的维度远小於超表面上动輒上百万个纳米天线。
他几乎是在他们说完的瞬间，就在脑子里搭建起了一个適配的数学模型。
简单计算后，確定可行了，他才开口说道：
“这个数学结构其实並不复杂。”
说完，肖宿不顾眾人震惊的表情，在电脑前坐下，打开了一个空白的文档窗口。
屏幕上光標一闪一闪的，快速跳动起来。
“只要先把实测光瞳函数和设计光瞳函数的偏差做个正交分解，再把这些偏差拆成低阶模式和高阶模式两个部分就行。”
他指尖在键盘上快速跳动，屏幕上很快出现一个初步的推导公式。
“低阶模式对应的就是折反射镜的几何参数偏差，这部分可以不用动镜片，靠调整空间滤波器的参数就能补偿回来，这样可以节省很多时间。”
他的目光扫过屏幕上的参数范围，想了想，又补充道：
“至於高阶模式，那是折反射镜曲率局部不规则导致的，这部分得动第二组透镜组的镜片参数，但调整范围不能太大，要控制在合理边界內，不然反而会引入新的偏差。”
说著，他又敲下一连串推导，屏幕上逐行跳出来的內容，包括低阶模式补偿係数的提取范围、空间滤波器参数的调整边界、高阶模式修正时第二组透镜组曲率半径的可调区间，还有每一步推导的简短注释，条理清晰得让人一目了然。
等写完这部分，他才接著说道：
“处理完光瞳函数的偏差之后，可以把第三组透镜组的装调响应函数，看成是辛流形上的哈密顿系统。”
“这么一来，想要把波像差调到最佳状態，只需要在辛流形中求出哈密顿量的极小值就可以了。
根本没必要在实空间里强行求解复杂的高维非线性方程组，这样做太费时费力。
藉助谱域对消的思路，在模式空间內逐层完成擬合逼近，不仅运算效率更高，最终得出的结果也会更加精准。” ↑返回顶部↑
他几乎是在他们说完的瞬间，就在脑子里搭建起了一个適配的数学模型。
简单计算后，確定可行了，他才开口说道：
“这个数学结构其实並不复杂。”
说完，肖宿不顾眾人震惊的表情，在电脑前坐下，打开了一个空白的文档窗口。
屏幕上光標一闪一闪的，快速跳动起来。
“只要先把实测光瞳函数和设计光瞳函数的偏差做个正交分解，再把这些偏差拆成低阶模式和高阶模式两个部分就行。”
他指尖在键盘上快速跳动，屏幕上很快出现一个初步的推导公式。
“低阶模式对应的就是折反射镜的几何参数偏差，这部分可以不用动镜片，靠调整空间滤波器的参数就能补偿回来，这样可以节省很多时间。”
他的目光扫过屏幕上的参数范围，想了想，又补充道：
“至於高阶模式，那是折反射镜曲率局部不规则导致的，这部分得动第二组透镜组的镜片参数，但调整范围不能太大，要控制在合理边界內，不然反而会引入新的偏差。”
说著，他又敲下一连串推导，屏幕上逐行跳出来的內容，包括低阶模式补偿係数的提取范围、空间滤波器参数的调整边界、高阶模式修正时第二组透镜组曲率半径的可调区间，还有每一步推导的简短注释，条理清晰得让人一目了然。
等写完这部分，他才接著说道：
“处理完光瞳函数的偏差之后，可以把第三组透镜组的装调响应函数，看成是辛流形上的哈密顿系统。”
“这么一来，想要把波像差调到最佳状態，只需要在辛流形中求出哈密顿量的极小值就可以了。
根本没必要在实空间里强行求解复杂的高维非线性方程组，这样做太费时费力。
藉助谱域对消的思路，在模式空间內逐层完成擬合逼近，不仅运算效率更高，最终得出的结果也会更加精准。” ↑返回顶部↑