第307章 总算不用被念叨了（2 / 3）
和他之前在论文里估算的结论基本吻合。
肖宿把这份材料放到一边，正打算继续翻下一份，发现高长安还站在书桌旁边。
他抬起头，有些疑惑的看了高长安一眼。
高长安的表情和平时不太一样，嘴唇动了动，又抿著，好像有什么话想说又说不出口。
“怎么了？”
高长安迟疑了一下，目光在肖宿桌上那堆超材料的文献上扫了一圈。
“肖教授，您现在研究的东西，是不是……也和光刻有关？”
肖宿点了点头。
超材料隱身衣的核心就是纳米天线阵列，无论是走哪一种工艺路线，归根到底都是要靠微纳加工来做的。
电子束光刻、纳米压印、自组装，每一种都离不开高精度的光刻或类光刻工艺。
从这个角度来说，研究隱身衣本身就是在研究光刻技术的应用延伸。
高长安得到这个肯定的答覆之后，没再多说什么，而是又从隨身的公文包里抽出一个深蓝色的文件夹，递到了肖宿面前。
肖宿翻开一看，是一份关於国產深紫外光刻系统关键子系统研製进展的报告。
他往下翻了几页，发现內容很简略，就是从整体上勾勒出了目前国產光刻系统研发的大致格局，然后提到了国產深紫外光刻系统关键子系统研製项目组。
简单来说，这是一个专项由科技部牵头，联合了国內几家最具实力的微电子研究所和精密光学研究单位共同攻关的实验课题。
其中，沪城微电子研究所承担了核心光学系统的设计任务，长光精密光学研究所负责物镜系统的加工与装调，另外还有几家单位分別负责光源、工件台和浸没系统的研发。
这套被寄予厚望的国產光刻系统，对標的是国际上已经成熟应用多年的193纳米浸没式光刻平台，目標是实现从光源到物镜到工件台的全系统自主可控……
前面那些光刻系统的技术架构肖宿並不陌生，193纳米浸没式光刻在国际上已经成熟应用很多年了，那些光学系统的底层理论框架没什么特別的，肖宿扫了几眼就大致了解他们的设计思路了。
这些没什么可看的，他很快就翻完了，视线停在了报告最后一页上。
这里他们重点写了几个这个实验目前遇到的瓶颈。
光学系统的波像差一直压不到目標值以下，导致解析度无法稳定满足工艺节点的要求……
工件台的定位精度虽然在静態测试中达標，但在高速扫描状態下的动態跟踪误差始终偏大，影响曝光效率……
照明系统的空间相干性均匀度差，多次调整光学设计都没能彻底改善，直接限制了成像对比度……
这上面的几个问题还只是子系统层面的。
当所有子系统联调联试的时候，各单元之间的耦合误差还会进一步叠加放大。
也就是说，整个系统的综合性能距离实用化还是有相当一段距离的。
肖宿把匯报翻完，抬眼看向高长安。
高长安不等他开口，连忙解释道：
“肖教授，这个是科技部牵头的光刻机专项研究报告，目前国內几家顶尖的光刻机研究所，还有沪城微电子研究所，都在参与这个项目，只是……一直没有太大进展，遇到了一些技术瓶颈，他们知道您最近对光学感兴趣，就想请您帮忙看看。”
原来是想让他帮忙。 ↑返回顶部↑
肖宿把这份材料放到一边，正打算继续翻下一份，发现高长安还站在书桌旁边。
他抬起头，有些疑惑的看了高长安一眼。
高长安的表情和平时不太一样，嘴唇动了动，又抿著，好像有什么话想说又说不出口。
“怎么了？”
高长安迟疑了一下，目光在肖宿桌上那堆超材料的文献上扫了一圈。
“肖教授，您现在研究的东西，是不是……也和光刻有关？”
肖宿点了点头。
超材料隱身衣的核心就是纳米天线阵列，无论是走哪一种工艺路线，归根到底都是要靠微纳加工来做的。
电子束光刻、纳米压印、自组装，每一种都离不开高精度的光刻或类光刻工艺。
从这个角度来说，研究隱身衣本身就是在研究光刻技术的应用延伸。
高长安得到这个肯定的答覆之后，没再多说什么，而是又从隨身的公文包里抽出一个深蓝色的文件夹，递到了肖宿面前。
肖宿翻开一看，是一份关於国產深紫外光刻系统关键子系统研製进展的报告。
他往下翻了几页，发现內容很简略，就是从整体上勾勒出了目前国產光刻系统研发的大致格局，然后提到了国產深紫外光刻系统关键子系统研製项目组。
简单来说，这是一个专项由科技部牵头，联合了国內几家最具实力的微电子研究所和精密光学研究单位共同攻关的实验课题。
其中，沪城微电子研究所承担了核心光学系统的设计任务，长光精密光学研究所负责物镜系统的加工与装调，另外还有几家单位分別负责光源、工件台和浸没系统的研发。
这套被寄予厚望的国產光刻系统，对標的是国际上已经成熟应用多年的193纳米浸没式光刻平台，目標是实现从光源到物镜到工件台的全系统自主可控……
前面那些光刻系统的技术架构肖宿並不陌生，193纳米浸没式光刻在国际上已经成熟应用很多年了，那些光学系统的底层理论框架没什么特別的，肖宿扫了几眼就大致了解他们的设计思路了。
这些没什么可看的，他很快就翻完了，视线停在了报告最后一页上。
这里他们重点写了几个这个实验目前遇到的瓶颈。
光学系统的波像差一直压不到目標值以下，导致解析度无法稳定满足工艺节点的要求……
工件台的定位精度虽然在静態测试中达標，但在高速扫描状態下的动態跟踪误差始终偏大，影响曝光效率……
照明系统的空间相干性均匀度差，多次调整光学设计都没能彻底改善，直接限制了成像对比度……
这上面的几个问题还只是子系统层面的。
当所有子系统联调联试的时候，各单元之间的耦合误差还会进一步叠加放大。
也就是说，整个系统的综合性能距离实用化还是有相当一段距离的。
肖宿把匯报翻完，抬眼看向高长安。
高长安不等他开口，连忙解释道：
“肖教授，这个是科技部牵头的光刻机专项研究报告，目前国內几家顶尖的光刻机研究所，还有沪城微电子研究所，都在参与这个项目，只是……一直没有太大进展，遇到了一些技术瓶颈，他们知道您最近对光学感兴趣，就想请您帮忙看看。”
原来是想让他帮忙。 ↑返回顶部↑