第77章 黑暗中的光（2 / 3）
他点开了那个网盘连结，下载了那份四十七页的pdf文档。
打开。
目录页清晰列出了十七篇论文，每一篇下面都跟著错误条目。
罗华直接找到了佐藤在wclc上最新发表的那篇《基於高阶正则化的euv光刻系统性误差修正框架》。
清单中，这篇论文被列出了三个错误。
第一个，光刻胶收缩率修正係数0.47与理论下限不符。
第二个，杂散光干扰因素被忽略，导致模型不成立。
第三个……
罗华的目光定格在第三点上：“实验验证数据与论文中宣称的实验条件不符，存在人为筛选最优数据的嫌疑。”
下面附上了详细的对比分析，包括原始数据文件的截图，以及重新按照论文所述条件仿真得到的结果。
每一个数字，每一个公式，都標註得清清楚楚。
罗华的手开始发抖。
不是疲惫的颤抖，而是激动的颤抖。
他快速翻阅文档，找到了佐藤另一篇他曾经仔细研读过的论文。
《基於相位恢復算法的光刻胶三维形貌重构》这篇论文他当年读的时候就觉得有些地方不太对劲，但一直没想明白问题出在了哪儿。
现在，清单里明明白白地写著：
“公式(7)格林函数展开时漏掉了曲率修正因子”
“表2实验数据信噪比標註值与原始测量值不符”
“图5(c)仿真结果与算法参数不匹配”
……
每一个点，都像是一束光，拨开了一直存在他心中的迷雾。
“这……这是真的……”
罗华喃喃道，声音都在发颤。
他猛地站起身，因为动作太急，椅子都被带倒了，哐当一声砸在地上。
但他顾不上了。
“小雨！胡伟！马立明！”
他衝著门外大喊，“快进来！有救了！我们有救了！”
三人衝进实验室，看到罗华这副激动的模样，都愣住了。
“师兄，你怎么了？”
“清单……那份清单……” ↑返回顶部↑
打开。
目录页清晰列出了十七篇论文，每一篇下面都跟著错误条目。
罗华直接找到了佐藤在wclc上最新发表的那篇《基於高阶正则化的euv光刻系统性误差修正框架》。
清单中，这篇论文被列出了三个错误。
第一个，光刻胶收缩率修正係数0.47与理论下限不符。
第二个，杂散光干扰因素被忽略，导致模型不成立。
第三个……
罗华的目光定格在第三点上：“实验验证数据与论文中宣称的实验条件不符，存在人为筛选最优数据的嫌疑。”
下面附上了详细的对比分析，包括原始数据文件的截图，以及重新按照论文所述条件仿真得到的结果。
每一个数字，每一个公式，都標註得清清楚楚。
罗华的手开始发抖。
不是疲惫的颤抖，而是激动的颤抖。
他快速翻阅文档，找到了佐藤另一篇他曾经仔细研读过的论文。
《基於相位恢復算法的光刻胶三维形貌重构》这篇论文他当年读的时候就觉得有些地方不太对劲，但一直没想明白问题出在了哪儿。
现在，清单里明明白白地写著：
“公式(7)格林函数展开时漏掉了曲率修正因子”
“表2实验数据信噪比標註值与原始测量值不符”
“图5(c)仿真结果与算法参数不匹配”
……
每一个点，都像是一束光，拨开了一直存在他心中的迷雾。
“这……这是真的……”
罗华喃喃道，声音都在发颤。
他猛地站起身，因为动作太急，椅子都被带倒了，哐当一声砸在地上。
但他顾不上了。
“小雨！胡伟！马立明！”
他衝著门外大喊，“快进来！有救了！我们有救了！”
三人衝进实验室，看到罗华这副激动的模样，都愣住了。
“师兄，你怎么了？”
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