第73章 不对（2 / 3）
那是佐藤健一郎演讲中的一张关键幻灯片，展示著他那套“正则化框架”的核心公式和一组验证数据。
屏幕上密密麻麻的数学符號对普通人而言如同天书，但肖宿的眼睛却紧紧盯著其中一行不起眼的数据標识。
“什么不对？”
周宇轩愣愣地问。
肖宿没有立即回答。
他微微眯起眼睛，身体前倾，手指无意识地在空中虚划著名，仿佛在重复某个计算过程。
陈林、林思源和周宇轩三人面面相覷，谁也不敢出声打扰肖宿的思考。
他们太熟悉肖宿这个状態了，这是他在深度思考数学问题时的专注模样。
平时肖宿虽然话不多，但一旦进入这种状態，就意味著他发现了什么值得深究的东西。
过了一会儿，肖宿才缓缓开口，声音依然平静，却带著某种確定的意味：
“他展示的第三组验证数据，光刻胶收缩率的修正係数，给的是0.47。”
肖宿顿了顿，似乎在组织语言，让非专业的室友也能理解：
“在euv光刻中，光刻胶受曝光后会发生收缩，这个收缩率需要精確补偿，否则图案会失真。佐藤的框架里，有一个专门的修正项来处理这个问题。”
“他给出的数据是，在5纳米节点下，经过他的正则化框架优化后，收缩率修正係数可以稳定在0.47，波动范围小於±0.02。”
周宇轩听得云里雾里：“所以呢？这个数字有什么问题？”
肖宿转过头，看著三位室友。
他的眼神清澈而专注。
“问题在於，”肖宿缓缓说道，“根据他前面给出的光学模型参数和材料特性数据，通过標准的波动方程和热传导耦合计算，收缩率修正係数不可能低於0.52。”
“他给出的0.47，比理论下限还低了10%。”
肖宿的话音刚落，宿舍里的沉闷瞬间被打破，取而代之的是一种压抑不住的躁动。
周宇轩拍著大腿，差点把椅子带倒，语气里满是狂喜，又带著点急不可耐：
“肖哥！你这话是认真的？也就是说，那佐藤健一郎可能是在吹牛皮，数据都是瞎编的？”
陈林也反应过来，他虽然不是光刻专业的，但扎实的数学物理基础让他立刻明白了肖宿话中的含义：
“你是说……他的数据造假？”
“不一定。”
肖宿摇了摇头，依然保持著学术上的严谨，“可能是计算错误，可能是实验误差没有被充分考虑，也可能是他用了某种非常规的假设没有在报告中说明。”
“但无论如何，”
肖宿看向电脑屏幕上佐藤健一郎自信满满的脸。
“一个与基础理论预测偏离如此之大的数据，在没有充分解释和验证的情况下就公开展示，並且以此为基础宣称『完美解决』，这在学术上是极其不负责任的行为。”
林思源已经激动地跳了起来： ↑返回顶部↑
屏幕上密密麻麻的数学符號对普通人而言如同天书，但肖宿的眼睛却紧紧盯著其中一行不起眼的数据標识。
“什么不对？”
周宇轩愣愣地问。
肖宿没有立即回答。
他微微眯起眼睛，身体前倾，手指无意识地在空中虚划著名，仿佛在重复某个计算过程。
陈林、林思源和周宇轩三人面面相覷，谁也不敢出声打扰肖宿的思考。
他们太熟悉肖宿这个状態了，这是他在深度思考数学问题时的专注模样。
平时肖宿虽然话不多，但一旦进入这种状態，就意味著他发现了什么值得深究的东西。
过了一会儿，肖宿才缓缓开口，声音依然平静，却带著某种確定的意味：
“他展示的第三组验证数据，光刻胶收缩率的修正係数，给的是0.47。”
肖宿顿了顿，似乎在组织语言，让非专业的室友也能理解：
“在euv光刻中，光刻胶受曝光后会发生收缩，这个收缩率需要精確补偿，否则图案会失真。佐藤的框架里，有一个专门的修正项来处理这个问题。”
“他给出的数据是，在5纳米节点下，经过他的正则化框架优化后，收缩率修正係数可以稳定在0.47，波动范围小於±0.02。”
周宇轩听得云里雾里：“所以呢？这个数字有什么问题？”
肖宿转过头，看著三位室友。
他的眼神清澈而专注。
“问题在於，”肖宿缓缓说道，“根据他前面给出的光学模型参数和材料特性数据，通过標准的波动方程和热传导耦合计算，收缩率修正係数不可能低於0.52。”
“他给出的0.47，比理论下限还低了10%。”
肖宿的话音刚落，宿舍里的沉闷瞬间被打破，取而代之的是一种压抑不住的躁动。
周宇轩拍著大腿，差点把椅子带倒，语气里满是狂喜，又带著点急不可耐：
“肖哥！你这话是认真的？也就是说，那佐藤健一郎可能是在吹牛皮，数据都是瞎编的？”
陈林也反应过来，他虽然不是光刻专业的，但扎实的数学物理基础让他立刻明白了肖宿话中的含义：
“你是说……他的数据造假？”
“不一定。”
肖宿摇了摇头，依然保持著学术上的严谨，“可能是计算错误，可能是实验误差没有被充分考虑，也可能是他用了某种非常规的假设没有在报告中说明。”
“但无论如何，”
肖宿看向电脑屏幕上佐藤健一郎自信满满的脸。
“一个与基础理论预测偏离如此之大的数据，在没有充分解释和验证的情况下就公开展示，並且以此为基础宣称『完美解决』，这在学术上是极其不负责任的行为。”
林思源已经激动地跳了起来： ↑返回顶部↑