第33章 江城七中，李东（2 / 5）
就是双光束雷射干涉无掩模光刻。
刚才还昏昏沉沉的脑子，现在一下子就清醒了。
这个思路就是他们组半年前用来解决那个低成本微纳加工难题的核心思路！
他急忙往下看去。
“设两束波长为λ的相干光，对称入射至光刻胶表面……”
“利用空间几何约束，干涉条纹周期 d =λ/(2sinθ)……”
“亚波长解析度验证……”
张默是越看越心惊，越看越精神。
这个学生的解法，虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式，没有用到他们工程中那些复杂的傅立叶光学变换和矢量衍射理论。
但是！
逻辑上却挑不出一点毛病。
而且结尾的备註更是让他眼前一亮。
【註：此方案可以省去高精度掩模版製造的环节，而且不需要投影物镜组，虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高，但在周期性微纳结构的小批量高精度製造中，成本优势巨大。】
“嘶。”
张默咽了咽口水，忍不住喝了一口桌上的咖啡。
“有灵性，这是真的懂行。”
这个学生准確的抓住了“无掩模”和“去透镜化”这两个降本增效的关键点。
张默在心里快速估算了一下。
如果按照这个学生简化的思路，去搭建一个用於特定製程的中试线。
省去了千万级的投影物镜，省去了百万级的掩模版套组。
“高相干稳频光源成本虽然会提升 2倍左右，但整体 bom成本……至少能下降 40%！”
他自己都有些惊疑不定了。
“真的假的？”
他快速抽出一张 a4纸，飞快的验算起来。
Δcost≈ cost_laser_stable -(cost_projection_lens + cost_mask_set)
他在纸上画出了几个简易的模块图，嘴里念念有词。
“如果用他在题里提到的『分光稜镜』做相干分光，配合平面反射镜做光路摺叠，机台的体积还能再缩小……”
如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台，成本比他们现在用的那套设备，起码还要低 10%~15%。
“不行，得让组里的人先做个模擬！顺著这个高中物理的思路，看看能不能把那个该死的『相位锁定模块』给简化掉！”
张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了，他拿著试捲起身就向外走去。 ↑返回顶部↑
刚才还昏昏沉沉的脑子，现在一下子就清醒了。
这个思路就是他们组半年前用来解决那个低成本微纳加工难题的核心思路！
他急忙往下看去。
“设两束波长为λ的相干光，对称入射至光刻胶表面……”
“利用空间几何约束，干涉条纹周期 d =λ/(2sinθ)……”
“亚波长解析度验证……”
张默是越看越心惊，越看越精神。
这个学生的解法，虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式，没有用到他们工程中那些复杂的傅立叶光学变换和矢量衍射理论。
但是！
逻辑上却挑不出一点毛病。
而且结尾的备註更是让他眼前一亮。
【註：此方案可以省去高精度掩模版製造的环节，而且不需要投影物镜组，虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高，但在周期性微纳结构的小批量高精度製造中，成本优势巨大。】
“嘶。”
张默咽了咽口水，忍不住喝了一口桌上的咖啡。
“有灵性，这是真的懂行。”
这个学生准確的抓住了“无掩模”和“去透镜化”这两个降本增效的关键点。
张默在心里快速估算了一下。
如果按照这个学生简化的思路，去搭建一个用於特定製程的中试线。
省去了千万级的投影物镜，省去了百万级的掩模版套组。
“高相干稳频光源成本虽然会提升 2倍左右，但整体 bom成本……至少能下降 40%！”
他自己都有些惊疑不定了。
“真的假的？”
他快速抽出一张 a4纸，飞快的验算起来。
Δcost≈ cost_laser_stable -(cost_projection_lens + cost_mask_set)
他在纸上画出了几个简易的模块图，嘴里念念有词。
“如果用他在题里提到的『分光稜镜』做相干分光，配合平面反射镜做光路摺叠，机台的体积还能再缩小……”
如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台，成本比他们现在用的那套设备，起码还要低 10%~15%。
“不行，得让组里的人先做个模擬！顺著这个高中物理的思路，看看能不能把那个该死的『相位锁定模块』给简化掉！”
张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了，他拿著试捲起身就向外走去。 ↑返回顶部↑