第443章 1.5微米缝合怪光刻机甦醒(1 / 5)

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  镜头和光刻胶的问题解决,剩下的拼图在现场迅速合拢。
  最底下,是一块长三米、宽两米、厚度达到八十公分的“泉城青”花岗岩底座。
  泉城一机厂厂长崔玉山亲自押车送来。
  他用红星厂的高精度工具机,给这块沉睡了五亿年的石头做了微米级平面研磨。
  平整度,硬生生压到三个微米以內。
  崔玉山拍著石头,只说了一句话:
  “给你们垫脚,够稳。”
  外面哪怕有重卡驶过,传到檯面上的震动,也被压到近乎没有。
  底座上方,是海卫厂陈广威送来的工作檯。
  他们没用传统铸铁,而是用了实验室专门製备的高模量碳纤维管材做蜂窝骨架,再覆多层环氧树脂。
  两个搬运工轻轻鬆鬆就把它抬进了车间。
  旁边老师傅看得直咂舌。
  “这玩意儿,比我家饭桌还轻。”
  重量只有原来的五分之一。
  可在直线电机驱动下,加速度直接翻倍,刚性还强。
  停下来的时候,几乎没有惯性余震。
  江俊带著团队,將那台cq-1型双频氦氖雷射干涉仪掛到碳纤维工作檯侧面。
  红光一闪。
  一束细得几乎看不见的雷射穿过导轨。
  电子探测器上的数字死死咬住。
  15纳米位移解析度。
  接著,东都单晶硅厂送来的9n级高纯度硅片,从充氮密封盒里取了出来。
  十亿个硅原子里,只允许混进一个杂质。
  长安771所刚调校完的离子注入机,也送进了车间。
  慢是慢。
  但刚好卡在1.5微米工艺门槛线上。
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  还有红星特製飞轮发电机组。
  稳压精度万分之一,纹波几乎被压到零。
  一件件设备,就像臟器一样,被填进这具钢铁躯壳。 ↑返回顶部↑

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