第440章 光波没有摩擦力（1 / 4）
四月中旬，吉省长光所。
地下实验室的无尘室外，王老的团队已经连轴转了两天两夜。
玻璃窗內，一组从樱花国弄回来的日產光学物镜被拆成了几十个编號部件。
镜片、隔圈、压环、镀膜样片，全都铺在防静电垫上。
每一个动作都慢得要命。
因为这玩意儿不是普通镜头。
它关係到光刻机能不能从现有水平，往1.5微米製程上再迈一步。
林希站在玻璃窗外，看著里面的进度。
这时，江俊拿著一份资料册快步走了过来。
“林经理。”
他的声音比三年前稳了太多。
三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥著女儿的病歷。
现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。
“光刻机要升级到1.5微米製程，光有镜头不够。”
江俊翻开工艺资料册，指著设计图上的对齐位。
“1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”
他手指敲了敲图纸。
“也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级別的微小位移。”
江俊合上资料，语气很沉。
“三年前搞出来的1微米精度光柵尺，已经不够用了。”
林希点了点头。
他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死晶片製程的物理天堑。
你连工作檯挪了多少都量不准，还谈什么套刻？
晶片不是靠热血喊出来的。
每一道线，都得用精度咬出来。
“跟我来。”
江俊没多解释，转身就走。
林希跟著他推开走廊尽头一间独立实验室的门。
屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。
光学平台四周拉著黑色遮光帘，地面上连脚印都很少。 ↑返回顶部↑
地下实验室的无尘室外，王老的团队已经连轴转了两天两夜。
玻璃窗內，一组从樱花国弄回来的日產光学物镜被拆成了几十个编號部件。
镜片、隔圈、压环、镀膜样片，全都铺在防静电垫上。
每一个动作都慢得要命。
因为这玩意儿不是普通镜头。
它关係到光刻机能不能从现有水平，往1.5微米製程上再迈一步。
林希站在玻璃窗外，看著里面的进度。
这时，江俊拿著一份资料册快步走了过来。
“林经理。”
他的声音比三年前稳了太多。
三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥著女儿的病歷。
现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。
“光刻机要升级到1.5微米製程，光有镜头不够。”
江俊翻开工艺资料册，指著设计图上的对齐位。
“1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”
他手指敲了敲图纸。
“也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级別的微小位移。”
江俊合上资料，语气很沉。
“三年前搞出来的1微米精度光柵尺，已经不够用了。”
林希点了点头。
他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死晶片製程的物理天堑。
你连工作檯挪了多少都量不准，还谈什么套刻？
晶片不是靠热血喊出来的。
每一道线，都得用精度咬出来。
“跟我来。”
江俊没多解释，转身就走。
林希跟著他推开走廊尽头一间独立实验室的门。
屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。
光学平台四周拉著黑色遮光帘，地面上连脚印都很少。 ↑返回顶部↑