第285章 暗影潜伏（1 / 5）
咔噠。
配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下，露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。
那双戴著脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐，针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。
嗤——！
一缕肉眼不可见的微量凝固气体，顺著管道內壁，无声无息地飘向了光刻机核心车间。
车间內，刺目的白光照亮了整个操作台。
高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液，顺著高压微管，稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。
“滴胶。”
程美丽清冷的声音在车间內响起。
一滴粘稠的原液精准滴落。
“启动旋涂。”
嗡——！
旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆，主轴开始高速旋转，发出平稳的低鸣。
金黄色的胶体在离心力的作用下，如同一层完美的薄膜，迅速向晶圆四周铺展开来。
李副部长和几名核心专家屏住呼吸，死死盯著上方悬掛的雷射平整度检测仪。
红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。
滴！
大屏上的数据疯狂跳动，最终死死卡在一个数字上。
0.05微米。
“不行！”
技术组长急得满头大汗，一拳砸在金属护栏上。
“误差卡在0.05微米下不去了！这个平整度根本达不到euv光源的点火標准！”
程美丽站在操作台前，目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。
“机器没问题，是配重。”
她双手快速在键盘上敲击，调出主轴的震动波形图。
“新配方的胶体粘度太高，主轴原有的震动频率產生了微共振。”
“停机。”
嗡鸣声骤停。
程美丽大步走上前，纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。
“拿配重铅块来。” ↑返回顶部↑
配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下，露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。
那双戴著脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐，针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。
嗤——！
一缕肉眼不可见的微量凝固气体，顺著管道內壁，无声无息地飘向了光刻机核心车间。
车间內，刺目的白光照亮了整个操作台。
高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液，顺著高压微管，稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。
“滴胶。”
程美丽清冷的声音在车间內响起。
一滴粘稠的原液精准滴落。
“启动旋涂。”
嗡——！
旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆，主轴开始高速旋转，发出平稳的低鸣。
金黄色的胶体在离心力的作用下，如同一层完美的薄膜，迅速向晶圆四周铺展开来。
李副部长和几名核心专家屏住呼吸，死死盯著上方悬掛的雷射平整度检测仪。
红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。
滴！
大屏上的数据疯狂跳动，最终死死卡在一个数字上。
0.05微米。
“不行！”
技术组长急得满头大汗，一拳砸在金属护栏上。
“误差卡在0.05微米下不去了！这个平整度根本达不到euv光源的点火標准！”
程美丽站在操作台前，目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。
“机器没问题，是配重。”
她双手快速在键盘上敲击，调出主轴的震动波形图。
“新配方的胶体粘度太高，主轴原有的震动频率產生了微共振。”
“停机。”
嗡鸣声骤停。
程美丽大步走上前，纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。
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